① 激发
② 信号
③ 元素分析
⏸ 暂停
放大看细节
X光管
探测器
计数 0
样品
入射 X 射线
荧光 X 射线
放大看：原子内部
K层
L层
+
空位
能谱图：光子按能量统计
0
2
4
6
8
10
能量 (keV)
计数
Ca
Fe
Cu
峰的位置 → 什么元素
峰的强度 → 校准后定量